سلسلة 1200C ميزات فرن أنابيب CVD المسيطر عليها بالغاز تتضمن قنوات غاز اثنين أو ثلاثة، نظام خليط غاز مدير، أنبوب السيراميك عالية الألومينا مع شرائح الختم SS304،يتم تسخينها بواسطة سلك HRE المقاومة، Tmax 1200 درجة مئوية. يوفر PID الذاتي القائم على المعالجة الدقيقة تحكمًا ممتازًا دون تجاوز ودقة +/- 1 درجة مئوية.يمكن الوصول إلى مستوى الفراغ الأقصى إلى 10E- torr مع مضخة الفراغ الجزيئي.
منحنيات الرمل والسكن والتبريد لأفران الأنابيب من سلسلة 1200
رقم الطراز | PTC D60/440/12 |
منطقة التدفئة |
طول التدفئة الإجمالي 440mm منطقة حرارة موحدة: 150 ملم |
إمدادات الطاقة | 2.5KW AC208-240V، 50/60Hz، مرحلة واحدة |
درجة حرارة العمل |
Tmax 1200°C (2192°F) مستمر 1100 درجة مئوية (2012 درجة فهرنهايت) توحيد درجة الحرارة +/- 5C |
جهاز تحكم درجة الحرارة |
32 قطعة قابلة للبرمجة للتدفئة والتبريد والسكن. وظيفة PID Auto-Tune المدمجة مع الحماية من الإفراط في الحرارة وقطع الحرارة. الحماية من الحرارة الزائدة والإنذار يسمحون بالعمل دون مراقبين. دقة درجة الحرارة +/- 1 درجة مئوية |
معدل التدفئة | ≤20 درجة مئوية / دقيقة |
الحرارة | النوع K |
بطانة الغرفة | منتجات ميتسوبيشي المواد الخام عالية الألومينا 1500# الألياف |
أنبوب الفرن |
أنابيب الكوارتز المذابةOD60mm، طول الأنابيب 440mm يزود الفلنجات الفراغية بصمام مدخل وغاز ومخرج |
أجهزة التشنج الفراغية |
زوج من الشرائح ذات المفاصل من نوع SS304 مع صمامات الإبرة المياه الباردة المفصلية النوع فلانج متوفرة عند الطلب بتكلفة إضافية |
مستوى الفراغ |
10^-4 تور بواسطة مضخة جزئية |
غاز الغلاف الجوي | الأرجون، النيتروجين، الخ |
عنصر التدفئة |
أسلاك الملفوفة من سبيكة HRE ملاحظة: عناصر التدفئة هي المستهلكة، ولا تغطيها الضمان، ونحن نوصي لطلب مجموعة إضافية من السخانات كقطع غيار |
معلومات الشحن | الوزن: 260 كجم W1100xL650xH1200mm |
الامتثال | CE، ISO |
الضمان | ضمان محدود لمدة 18 شهراً مع دعم تقني مدى الحياة |
اسم البند | PT D40/300/17 | PT D60/300/17 | PT D100/300/17 |
طول التدفئة | 300 ملم | 300 ملم | 300 ملم |
حجم الأنبوب | OD40xL900mm | OD60xL900mm | OD100xL900mm |
القوة | 220 فولت / 3 كيلوواط | 220 فولت/4 كيلوواط | 220 فولت/5 كيلوواط |
أبعاد الفرن (LxWxH) | 1030x500x800ملم | 1050x520x830ملم | 1100×580×850ملم |
الوزن الصافي | 150 كيلوغرام | 170 كيلوغرام | 290 كيلوغرام |