فرن أنابيب الفراغ ذات 3 مناطق CVD 1700C مع خلاط غاز MFC ووحدة مضخة جزئية

لمحة عامة عن المنتج

PT D80/1500/17/3 هو فرن أنبوب فراغ عالي CVD عالي درجة حرارة من ثلاثة مناطق. أنبوب ألومينا OD80mm ، طول التسخين 1500mm. مجهز بمضخة جزئية بمستوى فراغ يصل إلى 10-5torr ،3 قنوات MFC مزج الغازات المسيطر عليها بدقة. 304SS المياه تبريد الفلنجات مع صمامات الإبرة ومقياس، العديد من مدخلات الهواء والمخارج للغازات المختلفة.يتبنى نظام التحكم في درجة الحرارة PID يوديان القائم على المعالجة الدقيقة الذاتية مع دقة التحكم في درجة الحرارة من +/- °C، يتم تسخين قضبان MoSi2 ، ويمكن أن تصل درجة حرارة Max إلى 1700 °C (1500 °C تحت فراغ عالية). يتم استخدام فرن الأنابيب الفراغية العالية ذات المناطق الثلاثة بشكل رئيسي للتجمد الفراغ والحماية الجوية ،طلاء الفراغ بالفيلم الرقيق، تجارب أمراض القلب والأوعية الدموية الخ

الخصائص الرئيسية

• Tmax 1700 درجة مئوية
• 3 منطقة التدفئة الفراغ العالي ، فرن أنابيب CVD
• هيكل فولاذ مزدوج، خسارة حرارة ضئيلة
• وحدة المضخة الجزيئية، الحد الأقصى لمستوى الفراغ تصل إلى 10-5 torr
• خلاط غاز مدعوم بواسطة MFC بثلاث قنوات
• غرفة معزولة بالألياف مع عناصر تسخين MoSi2 لتحقيق أقصى استقرار درجة حرارة وتوحيد
• 304SS المياه الباردة المختومة الاطراف
• جهاز تحكم PID الرقمي مع 30 شريحة قابلة للبرمجة بدقة +/- -1°C
• المزدوج الحراري من النوع B
• ISO، CE

تدابير السلامة

• مقياس آمبرات مدمج ومقاسات فولت مزدوجة لسهولة الرصد وإصلاح الأخطاء.
• حماية من الإفراط في الحرارة تغلق الفرن إذا كانت درجة الحرارة خارج النطاق المقبول (راجع دليل جهاز التحكم) أو عندما يكون العامل الحراري معطلاً أو معطلاً.
• حماية انقطاع التيار الكهربائي تستأنف تشغيل الفرن مباشرة بعد نقطة الانقطاع عندما يتم استعادة التيار الكهربائي.
• يقدم التحكم الذاتي في PID القائم على المعالجة الدقيقة عملية حرارية مثالية مع الحد الأدنى من الإفراط

تفاصيل المنتج

فرن أنابيب الفراغ في 1700 درجة مئوية CVD 3 منطقة مع خلاط غاز MFC وجهاز تبريد الماء

• يتكون PT D80/1500/17 أساسا من سبعة أجزاء: جسم الفرن، أنبوب الفرن، ملحقات ختم الجهاز، نظام إمداد الغاز، نظام تبريد المياه،نظام ضخ الفراغ ونظام التحكم في درجة الحرارة
• يتم معالجة غلاف الفولاذ الخارجي للفرن بالخزف والفوسفات ، وتغطية مسحوق البيئة على السطح ، مقاومة للتآكل والأكسدة ، ومروحة تبريد مدمجة ،درجة حرارة السطح Rt+45°C
• مظهر رائع، وامتثال الـ ISO و CE

ملف الغرفة لفرن أنبوب الفراغ العالي بمعدل 1700 درجة مئوية CVD 3 مناطق

• العزل السيراميكي عالية الألومينا، حفر CNC، جدران الغرفة الارتباط بإحكام، U نوع MoSi2 سخان، مقاوم لدرجة حرارة تصل إلى 1800C
• طول التسخين 600 ملم، مناسبة لقطر أنبوب الألومينيا 60 ملم. أنبوب معالجة الألومينيا عالية، مقاومة درجة الحرارة تصل إلى 1700 درجة مئوية،يتم تجهيز الجزء الحرج من منطقة التدفئة داخل أنبوب الفرن مع سدادة أنبوب السيراميك، والتي يمكن أن تمنع بشكل فعال الحرارة من الهروب وتقليل خسارة الحرارة
• المزدوج الحراري من النوع B

شفرة تبريد المياه، 1/4 بوصة بابودا فوهة الغاز، وحدة مضخة الفراغ الجزيئي

• مجهزة بمجموعة من شظايا التبريد المائي SS304 ، مغلقة بخواتم الختم المقاومة لدرجات الحرارة العالية من مطاط الفلور
• مدخل الهواء والمخرج تعتمد G1 / 4 بوصة بابودا فوهة الهواء، والتي يمكن توصيلها إلى أنبوب PTFE مع قطر خارجي 8mm
• وحدة مضخة جزئية متصلة مع KF25، وتأكد من أن مستوى الفراغ تصل إلى 10 * 5mbar

برامج التسخين لـ 1700 درجة مئوية CVD TEMP 3 زونات

• 30 قطعة قابلة للبرمجة ، معدل التدفئة 1-10C / min يتم ضبطها بحرية
• عزل حراري جيد ، تبريد طبيعي ، تبريد بلطف
• 7 "لوحة الشاشة التي تعمل باللمس هو اختياري، ويمكن عرض برامج التدفئة في الوقت المناسب، وتنزيل

Tالمواصفات التقنية

ملاحظات الطلب

• يجب أن يكون ضغط أنبوب المعالجة أقل من 0.02MPa
• مصدر الغاز يجب تجهيز صمام خفض الضغط
• قبل ملء غازات التخفيض مثل H2، يجب ضخ الهواء من الأنبوب
• عند ملء الغازات من مدخل الغاز في الأنابيب، يجب التأكد من فتح صمام منفذ الغاز

مقارنة الحجم